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La ligne microfaisceau (Nuclear microprobe)

Il s’agit ici d’un système de guidage et de focalisation du faisceau d’ions issu de l’accélérateur. L’ensemble est composé d’un point objet défini par un diaphragme en tantale, d’une lentille électromagnétique composé d’un triplet (pour le mode microsonde), auquel peut se rajouter un doublet (pour le mode sub-micronique) et d’une chambre d’analyse dans laquelle se trouve l’échantillon dans le plan focal image du système.

Le rapport de grandissement de la ligne est de 1/20, ce qui permet d’obtenir une tache de faisceau formant un disque de l’ordre de quelques centaines de nm² et pouvant atteindre quelques dizaines de µm². Le système peut fonctionner en mode point d’analyse, scan sur une ligne, ou balayage d’une surface pouvant aller jusqu’à 1000X1000 µm.

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La ligne haute résolution

Outil permettant de mettre en œuvre les techniques d’analyse avec une résolution spatiale de l’ordre du micron afin d’étudier de petites surfaces ou d’obtenir des images de répartition élémentaire sur celles-ci.

Etant donné que l’ensemble des outils de réglage du faisceau et l’acquisition elle-même sont déportées dans la salle de contrôle commande de la plateforme, nous pouvons mettre en œuvre toutes les techniques d’analyses notamment celles justifiant l’utilisation de deutons.

Imagerie de répartition sur une même zone des différents éléments d’un circuit intégré

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